离子注入用石墨，细颗粒高密度的石墨显示出很高的耐腐蚀性，即便是在十分恶劣的工况下(如离子束轰击或等离子体束)也是这样。2.由于离子束的原因，金属配件暴露在离子注入设备中会导致高的损耗，故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。3.我司采用德国西格里石墨，不单可为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩，且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度石墨电极及离子源。4.即便在离子轰击或等离子等极限工作条件下，细粒、高密度石墨也不易受腐蚀。离子轰击设备的金属配件要接触离子束，磨损严重，可选择合适的石墨挡板进行保护。我司不单提供石墨挡板，还提供适合于各种注入机的电极和离子源，这些石墨产品都具有耐腐蚀和高纯度的亮点。
HSM987